плазменная установка последовательной обработки пластин

plazminis plokštelių nuosekliojo apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. single-wafer plasma installation vok. Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage, f rus. плазменная установка последовательной обработки пластин, f pranc. installation à plasma pour traitement séquentiel des tranches, f